CiS MEMS Workshop 2022
Do., 13. Okt.
|Erfurt
Entwicklungstrends bei piezoresistiver Silizium-Drucksensoren Der Workshop stellt neue Anwendungsmöglichkeiten piezoresistiver Drucksensoren vor und greift Trends auf diesem Gebiet auf.
Zeit & Ort
13. Okt. 2022, 09:00
Erfurt, Konrad-Zuse-Straße 14, 99099 Erfurt, Deutschland
Über die Veranstaltung
Entwicklungstrends bei piezoresistiven Silizium-Drucksensoren
Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) sind Bestandteil vieler Produkte. Meist bestehen sie aus Silizium, sind winzig und Basis innovativer Lösungen in der Elektronik. Der Workshop stellt neue Anwendungsmöglichkeiten piezoresistiver Drucksensoren vor und greift Trends auf diesem Gebiet auf.
Die Einsatzmöglichkeiten MEMS-basierter Drucksensoren sind breit gefächert und erstrecken sich von Sensoren für die Überwachung von Industrieanlagen, über medizinische Anwendungen bis zu Sensorlösungen für die Mobilität und im Consumer Bereich sowie in der Wissenschaft.
Dabei sind Fragen der Langzeitstabilität, des Einsatzes unter rauhen Einsatzbedingungen sowie einer innovativen Aufbau- und Verbindungstechnik relevant.
Ziel der Veranstaltung ist, aktuelle Ergebnisse aus Forschung und Entwicklung sowie Anwendung für siliziumbasierte MEMS-Sensoren vorzustellen. Dabei wird der Bogen von neuen Materialien wie SiCER, Simulation, Aufbau- und Verbindungstechnik, messtechnischen Charakterisierung bis zur Anwendung gespannt.
Der Workshop findet als Hybridveranstaltung am 13.10.2022 im CiS Forschungsinstitut in Erfurt statt. Veranstalter ist der CiS e.V.