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CiS MEMS Workshop 2022

Do., 13. Okt.

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Erfurt

Entwicklungstrends bei piezoresistiver Silizium-Drucksensoren Der Workshop stellt neue Anwendungsmöglichkeiten piezoresistiver Drucksensoren vor und greift Trends auf diesem Gebiet auf.

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CiS MEMS Workshop 2022
CiS MEMS Workshop 2022

Zeit & Ort

13. Okt. 2022, 09:00

Erfurt, Konrad-Zuse-Straße 14, 99099 Erfurt, Deutschland

Über die Veranstaltung

Entwicklungstrends bei piezoresistiven Silizium-Drucksensoren 

Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) sind Bestandteil vieler  Produkte. Meist bestehen sie aus Silizium, sind winzig und Basis  innovativer Lösungen in der Elektronik. Der Workshop stellt neue  Anwendungsmöglichkeiten piezoresistiver Drucksensoren vor und greift  Trends auf diesem Gebiet auf.

Die Einsatzmöglichkeiten MEMS-basierter Drucksensoren sind breit  gefächert und erstrecken sich von Sensoren für die Überwachung von  Industrieanlagen, über medizinische Anwendungen bis zu Sensorlösungen  für die Mobilität und im Consumer Bereich sowie in der Wissenschaft.

Dabei sind Fragen der Langzeitstabilität, des Einsatzes unter rauhen  Einsatzbedingungen sowie einer innovativen Aufbau- und  Verbindungstechnik relevant.

Ziel der Veranstaltung ist, aktuelle Ergebnisse aus Forschung und  Entwicklung sowie Anwendung für siliziumbasierte MEMS-Sensoren  vorzustellen. Dabei wird der Bogen von neuen Materialien wie SiCER,  Simulation, Aufbau- und Verbindungstechnik, messtechnischen  Charakterisierung bis zur Anwendung gespannt.

Der Workshop findet als Hybridveranstaltung am 13.10.2022 im CiS  Forschungsinstitut in Erfurt statt. Veranstalter ist der CiS e.V.

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